InP基PIN+HBT光电集成器件的设计与研制

• 作者: 任晓敏 崔海林 李轶群 苗昂 黄永清 黄辉
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光电集成电路(OEIC) 异质结双极性晶体管(HBT) PIN
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 285-288
• 页数: 4页
• 分类号: TN256
• 字数: 1556字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.03.001

摘要

对用于光电集成电路(OEIC)的InP基异质结双极性晶体管(HBT)及PIN探测器进行了设计与研制,讨论了堆叠层结构和共享层结构2种常见的集成方式,通过实验比较,确定了共享层结构器件性能更好,并对此结构进行了改进.所研制的HBT截止频率达到30 GHz,直流增益达到100;PIN的3 dB带宽达到了15 GHz.详细介绍了器件结构及工艺流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任晓敏	北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室	189	942	13.0	18.0
2	黄辉	北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室	59	282	10.0	12.0
3	苗昂	北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室	11	54	5.0	7.0
4	李轶群	北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室	13	61	5.0	7.0
5	崔海林	北京邮电大学光通信与光波技术教育部重点实验室	10	39	4.0	5.0