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四光束镀膜监控系统
四光束镀膜监控系统
作者:
任小玲
许世军
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
薄膜光学
膜厚监控系统
四光束
双锁相电路
复合滤波
稳定性
精度
摘要:
针对通用镀膜仪膜厚监控的稳定性、精度和自动化程度不高的状况,研究了一套新的光电控制分析系统.设计了基于双频调制的四光束光电测试系统,采用双锁相电路和复合滤波的综合数字处理系统进行膜厚监控信号处理,并通过控制分析系统实现自动监控.测试结果经方差分析后表明:反映膜厚控制重复性的膜厚标准偏差<0.55%;信噪比达到1 000;数码显示值的线性度非常高,反射率的数码显示分辨极限为0.02%;系统静态漂移的线性程度很高,漂移率<1.95%/h,静态稳定性优于通用系统2倍.提出的系统极大地提高了光学薄膜厚度监控系统的静态、动态稳定性、信噪比以及膜厚控制精度.
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内容分析
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内容分析
关键词云
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相关文献总数
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文献信息
篇名
四光束镀膜监控系统
来源期刊
光学精密工程
学科
工学
关键词
薄膜光学
膜厚监控系统
四光束
双锁相电路
复合滤波
稳定性
精度
年,卷(期)
2008,(6)
所属期刊栏目
现代应用光学
研究方向
页码范围
1031-1036
页数
6页
分类号
O484.1|TP273
字数
4693字
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:1004-924X.2008.06.010
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
任小玲
西安工程大学计算机学院
29
156
6.0
11.0
2
许世军
西安工业大学数理系
43
123
6.0
9.0
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引文网络
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引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
薄膜光学
膜厚监控系统
四光束
双锁相电路
复合滤波
稳定性
精度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光学精密工程
主办单位:
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国仪器仪表学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1004-924X
CN:
22-1198/TH
开本:
大16开
出版地:
长春市东南湖大路3888号
邮发代号:
12-166
创刊时间:
1959
语种:
chi
出版文献量(篇)
6867
总下载数(次)
10
总被引数(次)
98767
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