离子注入设备原理与应用

• 作者: 曹鸣 黄其煜
• 来源期刊: 半导体行业
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入技术 设备原理 应用 制造过程 电学性能 掺杂浓度 可重复性 半导体
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 页码范围: 59-61
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.3
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄其煜	上海交通大学微电子学院	37	221	7.0	14.0
2	曹鸣	上海交通大学微电子学院	2	33	1.0	2.0