热丝和射频等离子体化学气相沉积法制备定向碳纳米管薄膜

• 作者: 张海燕 朱清锋 杨大勇 陈列春 陈易明 陈雨婷
• 来源期刊: 光学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜光学 定向碳纳米管薄膜 低温制备 热丝射频等离子体增强化学气相沉积 旋涂法
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 1824-1827
• 页数: 4页
• 分类号: TB34
• 字数: 2865字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-2239.2008.09.035

摘要

采用热丝和射频等离子体复合化学气相沉积设备(PE-HF-CVD),以CH4、H2和N2为反应气体.在较低衬底温度下(500℃),用简单的催化剂制备方法--旋涂法在硅片上涂覆Ni(NO3)2溶液,经热处理及H2还原后的Ni颗粒为催化剂,在硅衬底上制备出了垂直于硅片且定向生长的碳纳米管薄膜.扫描电子显微镜(SEM)和透射电子显微镜(TEM)结果显示,1 mol/l的硝酸镍溶液旋涂硅片所得催化剂制得的碳纳米管管径为30～50 nm,长度超过4μm,定向性好.并用拉曼光谱(Raman)对不同摩尔浓度Ni(NO3)2溶液条件下制备的碳纳米管薄膜样品进行了表征.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海燕	广东工业大学材料与能源学院	195	1122	15.0	22.0
2	陈易明	广东工业大学材料与能源学院	45	250	9.0	13.0
3	陈雨婷	广东工业大学材料与能源学院	16	52	4.0	6.0
4	朱清锋	广东工业大学材料与能源学院	3	10	2.0	3.0
5	杨大勇	广东工业大学材料与能源学院	4	20	3.0	4.0
6	陈列春	广东工业大学材料与能源学院	6	40	4.0	6.0