采用双晶片驱动的棒板结合式压电驱动器设计

• 作者: 李龙土 褚祥诚 陈翔宇
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电驱动器 振动模态 棒板结合 有限元法
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 第4届国际压电驱动材料及应用研讨会
• 页码范围: 2366-2370
• 页数: 5页
• 分类号: TM384
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.12.009

摘要

设计制作了一种采用双晶片压电陶瓷结构的棒板结合式压电驱动器.和瓷片分别粘接在青铜定子的上下两侧.定子上的金属圆柱体被用来放大振动的横向位移,并对金属棒状的转子进行激振,使其旋转.利用有限元分析(FEA)对定子进行了分析,发现在同样的驱动模式下,与传统的单片陶瓷片驱动器相比,该驱动器可以提供更多的横向和纵向的振动位移,大约提高25%左右.这种新结构也可避免不同振动模式之间的模态耦合现象,并产生理想的振动模态,以提高驱动器的运行稳定性.实验表明,驱动器在25 Vo-p低电压下可以提供512r/rain的转速,而单片陶瓷驱动器在该电压下不能工作.这种压电驱动器可以经过优化和调整来满足不同的实际应用,如精确定位仪器,生物工程和光聚焦系统等.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李龙土	清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	122	1435	22.0	31.0
2	褚祥诚	清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	22	160	7.0	11.0
3	陈翔宇	清华大学材料科学与工程系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室	3	12	3.0	3.0