微热对流角速度传感器抗冲击性能分析

• 作者: 叶雄英 朱荣 杨拥军 赵影
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微热对流 角速度传感器 抗冲击性 ANSYS
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 628-631
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.024

摘要

微热对流角速度传感器是一种新型的惯性传感器件,由于采用流体代替传统的固体质量块作为敏感载体,因而具有极其独特的性能,特别是高抗冲击性.采用ANSYS有限元分析软件,对微热对流角速度传感器的加热丝支撑层和检测丝支撑层进行动静态变形和应力计算,得出应力最大点,微加热丝支撑层的应力最大点在固支位置附近,检测丝支撑层的应力最大点在固支位置附近和内拐角处.在z方向有一定加速度载荷作用下,加热丝支撑层的最大应力比检测丝支撑层的最大应力大,更容易破坏.理论计算得到微热对流角速度传感器样品可抗冲击200 000 gn,经过抗冲击实验验证,微热对流角速度传感器样品在21 200 gn的冲击下仍完好无损,有极好的抗冲击性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶雄英	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	62	1070	15.0	31.0
2	朱荣	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	26	123	7.0	10.0
3	赵影	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	11	19	2.0	4.0
4	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0