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摘要:
为解决传统的接头闭合方法不能兼顾对接质量和写入效率问题,提出一种基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法.采用由直线和圆弧组合成的光滑S曲线控制封闭结构接头处的激光强度,利用两条S曲线相加斜率渐变的特性同时实现了消除曝光量分布折角和减缓曝光量变化速率的目的,从而改善闭合区域的曝光量分布,提高接头的闭合质量.实验结果表明,采用S曲线光强控制接头闭合方法可以很好地优化对接区域的曝光量分布,增加有效过渡区域长度,在不降低加工效率的基础上,提高激光直写质量.
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文献信息
篇名 基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法
来源期刊 光电子·激光 学科 工学
关键词 激光直写 S曲线光强控制 闭合 曝光量
年,卷(期) 2008,(5) 所属期刊栏目 激光应用
研究方向 页码范围 647-651,655
页数 6页 分类号 TN249
字数 3164字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.05.021
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 金占雷 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 5 23 3.0 4.0
2 谭久彬 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 140 2284 28.0 42.0
3 王雷 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 36 230 8.0 14.0
4 刘玉涛 哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 23 146 6.0 11.0
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研究主题发展历程
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激光直写
S曲线光强控制
闭合
曝光量
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
光电子·激光
月刊
1005-0086
12-1182/O4
大16开
天津市南开区红旗南路263号
6-123
1990
chi
出版文献量(篇)
7085
总下载数(次)
11
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
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