基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法

• 作者: 刘玉涛 王雷 谭久彬 金占雷
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 激光直写 S曲线光强控制 闭合 曝光量
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 激光应用
• 页码范围: 647-651,655
• 页数: 6页
• 分类号: TN249
• 字数: 3164字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.05.021

摘要

为解决传统的接头闭合方法不能兼顾对接质量和写入效率问题,提出一种基于S曲线光强控制的激光直写接头光滑闭合方法.采用由直线和圆弧组合成的光滑S曲线控制封闭结构接头处的激光强度,利用两条S曲线相加斜率渐变的特性同时实现了消除曝光量分布折角和减缓曝光量变化速率的目的,从而改善闭合区域的曝光量分布,提高接头的闭合质量.实验结果表明,采用S曲线光强控制接头闭合方法可以很好地优化对接区域的曝光量分布,增加有效过渡区域长度,在不降低加工效率的基础上,提高激光直写质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金占雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	23	3.0	4.0
2	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
3	王雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	36	230	8.0	14.0
4	刘玉涛	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	23	146	6.0	11.0