激光直写中S曲线光强控制模型的参数优化

• 作者: 吕云飞 张山 王雷 谭久彬 金占雷
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: S曲线光强控制 激光直写 参数优化 对接质量 曝光量分布
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 570-578
• 页数: 9页
• 分类号: TN305.7
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.04.002

摘要

提出了一种S曲线光强控制模型的参数优化方法.在分析S曲线光强控制模型的参数变化对线条闭合质量影响的基础上,以对接区域曝光量分布曲线恰好存在一个极值点时为最优,确定出光强控制模型中的圆弧弧度θ和曲率半径R的函数关系.基于该优化方法的对接区域长度由θ唯一确定,且当θ较小时,其仅为斜线段光强控制方法确定的对接长度的2倍.实验结果与理论分析吻合,表明该优化方法进一步增加了对接区域曝光量分布的有效过渡长度,减缓了曝光量在路径方向上的变化速率,从而在保证直写效率的同时提高了线条对接质量.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金占雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	23	3.0	4.0
2	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
3	张山	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	25	4.0	5.0
4	王雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	36	230	8.0	14.0
5	吕云飞	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	14	125	7.0	11.0