MEMS高G值加速度传感器设计

• 作者: LIU Jun SHI Yun-bo 孟美玉 祁晓瑾
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 高g值 加速度传感器 仿真
• 年，卷（期）: 2008,（16）
• 所属期刊栏目: 仿真器与仿真系统及半实物仿真
• 页码范围: 4306-4309
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 1912字
• 语种: 中文

摘要

针对特殊场合的测试需求,设计了四端全固支的高g值梁岛结构加速度传感器,结构中采用在质量块背部KOH腐蚀的方法,减轻质量块质量,且减小质量块质心与梁中心面的相对距离.利用力学计算与工艺相结合,确定了结构尺寸;通过Ansys软件对其进行应力分析、模态分析,得到了结构的输出灵敏度与一阶固有频率;最后利用瞬态分析验证了该结构能够承受20,000g的瞬态冲击,符合设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孟美玉	中北大学电子测试技术国家重点实验室	6	60	5.0	6.0
2	祁晓瑾	中北大学电子测试技术国家重点实验室	5	69	5.0	5.0
3	SHI Yun-bo	中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	13	1.0	1.0
4	LIU Jun	中北大学电子测试技术国家重点实验室	1	13	1.0	1.0