氧流量对绒面氧化锌透明导电薄膜性能的影响

• 作者: 杨瑞霞 段苓伟 耿新华 薛俊明 赵颖
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 中频溅射 ZnO:Al(ZAO)薄膜 氧流量 绒面结构 湿法腐蚀
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 材料
• 页码范围: 1206-1209
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 字数: 3133字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.09.017

摘要

利用中频脉冲磁控溅射工艺制备了低阻高透过率的ZAO薄膜,用湿法腐蚀的方法将制备的平面ZAO薄膜在0.5%的稀盐酸中浸泡一定时间得到绒面ZAO薄膜.研究了氧流量对腐蚀后薄膜表面形貌的影响.结果表明,随着氧流量的增大腐蚀后薄膜的表面形貌由花瓣状逐渐为适合太阳电池的陨石坑状,在氧流量为3.6 sc-cm时(氩流量为12 sccm)得到最好的绒面ZAO薄膜,继续增加氧流量,薄膜开始变得粗糙,说明薄膜的表面形貌又变差.