利用补偿提高精密定位平台的定位精度

• 作者: 孙麟治 程维明 章海涛
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 精密定位工作台 系统误差 反相补偿法
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 全国第六届精密工程学术研讨会专栏
• 页码范围: 884-888
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.6|TP273
• 字数: 2834字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924X.2008.05.020

摘要

运用反相补偿法原理,从误差曲线中分离出系统误差并与其反相曲线叠加以消除系统误差的影响.给出了对精密定位平台宏动工作台和微动工作台进行补偿的具体实例,补偿后定位误差分别从17.4 μm改善到1.3 μm和从137.6 nm改善到22.2 nm.理论分析和实验结果表明,反相补偿法对于降低系统误差十分有效,但对于随机误差效果不佳.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙麟治	上海大学机电工程与自动化学院	24	315	10.0	17.0
2	程维明	上海工程技术大学机械工程学院	23	201	5.0	14.0
3	章海涛	上海大学机电工程与自动化学院	2	6	1.0	2.0