静电键合完成时间探析

• 作者: 陈晓洁
• 来源期刊: 煤炭技术
• 学科: 工学
• 关键词: 静电键合 键合时间 电荷
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 问题探讨
• 页码范围: 161-162
• 页数: 2页
• 分类号: TD212
• 字数: 2826字
• 语种: 中文

摘要

静电键合作为MEMS工艺中的一种重要的封装工艺,应用日益广泛.静电键合的键合时间是键合工艺中最重要的控制参数之一,但却没有统一的定义.在理论分析和一定量的实验的基础上,分析了静电键合的机理,提出以静电键合中的迁移电荷数来定义键合完成情况的理念.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈晓洁	黑龙江科技学院电气与信息工程学院	8	5	1.0	1.0