基于原子力显微镜的线宽粗糙度测量

• 作者: 李洪波 赵学增
• 来源期刊: 机械工程学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米计量 线宽粗糙度 原子力显微镜 压电驱动器非线性 针尖
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 工程技术应用
• 页码范围: 227-232
• 页数: 6页
• 分类号: TG84|TH161|TB92
• 字数: 5216字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0577-6686.2008.08.040

摘要

给出采用原子力显微镜(Atomic force microscope,AFM)测量线宽粗糙度(Line width roughness,LWR)的分析步骤.分析线宽和LWR及其偏差随刻线横截面位置的高度变化的关系,线宽及其偏差和LWR及其偏差随刻线横截面位置的高度值增加而减小.分别采用四种边缘提取算子提取了碳纳米管针尖AFM测量的刻线顶部线宽边缘,计算了刻线顶部线宽和LWR,顶部线宽和LWR测量结果对边缘提取算子不敏感.结合被测单晶硅台阶的顶表面和底表面加工方法,提出采用各扫描线轮廓高度相等的方法校正AFM压电驱动器的z向非线性.比较了采用普通氮化硅探针针尖、超尖针尖以及碳纳米管针尖AFM测量名义线宽为1 000 nm刻线LWR的结果,显示采用三种针尖的LWR测量结果存在差异,但考虑到AFM分辨率,可认为测量结果基本相同.因此,为更精确描述刻线边缘,必须提高AFM分辨率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵学增	哈尔滨工业大学机电工程学院	133	1496	19.0	30.0
2	李洪波	哈尔滨工业大学机电工程学院	37	207	9.0	11.0