一种大直径硅片双面抛光后的手持取片工具

• 来源期刊: 有机硅氟资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 双面抛光 大直径 工具 硅片 操作杆 杆连接 实用新型 同心圆
• 年，卷（期）: yjgfzx_2008,（7）
• 页码范围: 27
• 页数: 1页
• 分类号: TS914.513

摘要

一种大直径硅片双面抛光后的手持取片工具，它包括：手持部分、夹持部分，所述的夹持部分包括：操作杆、与操作杆连接的同心圆上的两段夹弧，弧的横断面呈V形沟槽，所述的两操作杆以轴连接，以轴绞接后的操作杆的端部为手持部分，操作杆的端部之间以弹簧连接。取片时可以用手捏住手持部分，两段弧形部分夹住硅片的边缘从抛光机大盘上取下。本实用新型的优点是该工具非常简单实用，