溶胶-凝胶SiO2薄膜氨热两步后处理

• 作者: 吕海兵 宴良宏 尹伟 张洪亮 徐世珍 王毕艺 田东斌 祖小涛 章春来 蒋晓东 袁晓东 赵松楠
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶 二氧化硅薄膜 氨处理 热处理 椭偏仪
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 956-960
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2931字
• 语种: 中文

摘要

以正硅酸乙酯为前驱体,氨水作催化剂,采用溶胶-凝胶法提拉镀制SiO2双面膜,对薄膜进行氨处理和热处理.采用椭偏仪、分光光度计、红外光谱、扫描探针显微镜、静滴接触角测量仪表征薄膜的特性.研究表明:经氨热两步后处理,膜厚持续减小,折射率经氨处理先增大了0.236,再经热处理又减小了0.202,膜层透光性变好,透过率峰值持续向短波方向移动;经两步后处理的膜面平整度明显变好,与水的接触角先增大到58.92°后减小到38.07°.