基于微悬臂梁高次谐波的微小质量检测技术研究

• 作者: 傅星 房轩 李艳宁 胡小唐 鄢志丹
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 微悬臂梁 动态模式 敏感层
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 测量·检测
• 页码范围: 62-65
• 页数: 4页
• 分类号: TP206+.1
• 字数: 2144字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.01.016

摘要

针对微悬臂梁动态检测方式无法应用于液体环境,提出了一种利用微悬臂梁的高次谐振进行微小质量检测的方法.对于相同的被测量质量变化量,微悬臂梁的谐振级次越高,其频率偏移就越大,从而达到较高的灵敏度.以表面修饰了三乙基氢硫基十二基铵层(敏感层)的微悬臂梁为传感元件,以CrO 2- 4为被测物,在原子力显微镜(AFM)上检测了敏感层吸附CrO 2- 4 前后微悬臂梁的5次、6次、7次和8次谐振频率的变化.结果证明,谐振级次越高,灵敏度越高,在8次谐振时的检测灵敏度能够达到2.50 Hz/pg.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	李艳宁	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	211	8.0	11.0
3	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
4	鄢志丹	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	32	3.0	4.0
5	房轩	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	7	28	3.0	5.0