LPE-GaAs微探尖与VCSEL的粘合集成

• 作者: 张红治 梁秀萍 潘石 田怡春 胡礼中
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 粘合集成 微探尖 液相外延 扫描近场光学显微术
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 1185-1187
• 页数: 3页
• 分类号: TN305
• 字数: 2208字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2008.09.011

摘要

介绍了应用于扫描近场光学显微术(SNOM)传感头的GaAs微探尖与垂直腔表面发射激光器(VCSEL)的粘合集成方法,并利用扫描电子显微镜对集成后的微探尖与VCSEL进行了表征.结果表明,该种方法能够成功地将微探尖转移并集成到VCSEL的出光窗口上,实现微探尖与出光窗口的对准,并且整个过程中不会对微探尖造成损伤.这种技术对进一步实现由带有PIN光探测器的VCSEL与GaAs微探尖的混合集成式SNOM传感头有着重要的应用价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	潘石	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	45	254	9.0	13.0
2	梁秀萍	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	20	75	5.0	7.0
3	田怡春	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	3	11	2.0	3.0
4	胡礼中		2	8	2.0	2.0
5	张红治		1	2	1.0	1.0