基于液相外延生长的集成式微探尖

• 作者: 孙晓娟 张红治 梁秀萍 胡礼中
• 来源期刊: 集美大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 近场光存储 集成式SNOM 液相外延 选择生长 金字塔微探尖
• 年，卷（期）: 2005,（4）
• 页码范围: 356-359
• 页数: 4页
• 分类号: TN305
• 字数: 2915字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7405.2005.04.015

摘要

阐述了用于超高密度光存储的集成式扫描近场光学显微术(SNOM)微探尖的液相外延选择生长方案,并给出了实验结果.此种微探尖,可直接生长在微型集成式SNOM传感器的垂直腔表面发射激光器(VCSEL)晶片出光口上,避免了探尖转移带来的探尖损坏、难以对准等技术难题.该制作过程具有重复性较好,设备简单、经济,实用价值较高等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡礼中	大连理工大学物理系	28	160	8.0	11.0
2	梁秀萍	大连理工大学物理系	20	75	5.0	7.0
3	张红治	大连理工大学物理系	4	13	3.0	3.0
4	孙晓娟	大连理工大学物理系	4	13	3.0	3.0