n-on-p锑化铟薄膜的液相外延生长

• 作者: 刘世能 叶薇 李增寿 李忠良 陈建才
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 物理学
• 关键词: n-on-p 锑化铟 液相外延
• 年，卷（期）: 2016,（7）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 577-580
• 页数: 4页
• 分类号: O742|O75
• 字数: 3095字
• 语种: 中文

摘要

用水平开管液相外延技术在锑化铟衬底上用富铟锑化铟母液生长锑化铟薄膜材料,薄膜材料具有n-on-p结构,衬底为p型层,掺Ge,浓度1×1015～5×1016 cm-3;薄膜为n型层,掺Te,薄膜面积20 cm×25 cm,厚度2～3 μm,表面平整度±0.2 μm,浓度1×1017～5×1018 cm-3.n-on-p锑化铟薄膜材料能满足制作的中波红外焦平面器件要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建才		6	31	4.0	5.0
2	李忠良		1	0	0.0	0.0
3	叶薇		1	0	0.0	0.0
4	李增寿		1	0	0.0	0.0
5	刘世能		1	0	0.0	0.0