碲镉汞的液相外延生长

• 作者: 何景福 陈建才 雷春红 黄仕华
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 碲镉汞 液相外延生长 开管液相外延系统 CdZnTe衬底
• 年，卷（期）: 2001,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 613-617
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.2+2
• 字数: 3381字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2001.05.016

摘要

设计了一种使用良好的石墨舟，建立了一套能进行开管液相外延的系统，并利用此系统在CdZnTe衬底上和在富Te的生长条件下生长了不同x值的HgCdTe外延薄膜.通过对外延生长工艺的控制，外延薄膜的表面形貌有很大的改善，残留母液大为减少，外延薄膜的组分比较均匀，其电学性能得到较大改善，HgCdTe外延薄膜与CdZnTe衬底之间的互扩散非常少，外延膜的晶体结构也较完整.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈建才		6	31	4.0	5.0
2	黄仕华	昆明理工大学理学院	7	36	3.0	6.0
3	何景福		1	10	1.0	1.0
4	雷春红		2	10	1.0	2.0