双自由度双解耦陀螺的结构设计与仿真

• 作者: 刘骁 王浩 陈伟平 陈宏 韩天
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 微机械陀螺 双自由度检测 双级解耦
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 261-264
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.12
• 字数: 2133字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.019

摘要

设计了一种新颖的陀螺结构,该结构采用双自由度设计增大检测带宽,并缓解了品质因数对陀螺灵敏度的影响;采用了双级解耦的结构设计,减小了驱动模态的同频耦合干扰.文中对结构进行了电学模型建模,并进行了相应的时域和频域分析.