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摘要:
概述了微机电系统的结构和特点,介绍了饭机电系统的研究和应用领城.
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微机电系统技术及其应用
微机电系统
组成及特征
材料特性及加工工艺
应用领域
微机电系统的进展分析与研究
微机电系统(MEMS)
微机械器件
加工工艺
应用
产业化
关于微机电系统研究
微机电系统
背景
特征
关键问题
微机电系统的发展与应用
MEMS
传感器
执行器
纳米技术
工艺
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 微机电系统的研究及应用
来源期刊 装备制造技术 学科 工学
关键词 MEMS 微型器件系统 微执行器 集成化
年,卷(期) 2008,(7) 所属期刊栏目 新产品新技术
研究方向 页码范围 105-106
页数 2页 分类号 TH-39
字数 2698字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1672-545X.2008.07.043
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 曾鑫 29 76 5.0 7.0
2 DING Qun-yan 1 9 1.0 1.0
传播情况
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引文网络
引文网络
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  • 二级引证文献(2)
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2017(1)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(0)
2018(2)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(1)
2019(2)
  • 引证文献(1)
  • 二级引证文献(1)
研究主题发展历程
节点文献
MEMS
微型器件系统
微执行器
集成化
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
装备制造技术
月刊
1672-545X
45-1320/TH
大16开
广西壮族自治区南宁市
1973
chi
出版文献量(篇)
14754
总下载数(次)
37
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