利用溅射原子角分布规律改进平行板静电场法

• 作者: 谢国锋
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: AVLIS 离子引出 溅射
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 流体、等离子体和放电
• 页码范围: 1784-1787
• 页数: 4页
• 分类号: O53
• 字数: 1784字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.03.079

摘要

用Trim程序计算溅射原子的角分布规律,发现溅射原子出射角服从过余弦分布,利用这一规律,改进了收集方法,使得离子收集效率大大提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谢国锋	湘潭大学材料与光电物理学院	12	74	5.0	8.0