电子、通信与自动控制技术:半导体技术-半导体器件的温度测量

• 来源期刊: 中国学术期刊文摘
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体器件 温度测量 自动控制技术 半导体技术 电子 通信 科学与技术 大学物理
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 8
• 页数: 1页
• 分类号: TN303|TH811
• 语种: 中文

摘要

测量正在工作的半导体器件温度有很多种方法.这些方法大概可以分为三类:电学方法、光学方法和物理接触方法,介绍了各种方法的物理基础,并且对每种方法的优势、劣势以及空间解析度及需要特别注意的问题等进行了讨论.图6表1参51