半导体分立器件的可靠性工艺控制方法

• 作者: 彭苏娥 王长河
• 来源期刊: 电子产品可靠性与环境试验
• 关键词: 半导体器件 质量 可靠性 工艺控制
• 年，卷（期）: 2003,（2）
• 所属期刊栏目: 可靠性设计与工艺控制
• 页码范围: 29-35
• 页数: 7页
• 分类号: TN306
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-5468.2003.02.008

摘要

重点介绍了国内外半导体器件制造工艺与器件可靠性的相关性报道:工艺缺陷、微缺陷、关键工艺对器件质量和可靠性的影响及其控制方法;还介绍了关键工艺控制点的确定及其参数控制范围以及生产高质量、高可靠性器件的工艺环境的控制要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王长河		10	5	1.0	2.0
2	彭苏娥		6	36	3.0	6.0