脉冲阴极弧放电制备碳氮薄膜及其分析

• 作者: 刘娜 施芸城
• 来源期刊: 物理实验
• 学科: 物理学
• 关键词: 高压点火 脉冲阴极弧 碳氮薄膜
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 实验与应用
• 页码范围: 16-18,22
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 1891字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-4642.2009.04.004

摘要

采用高压点火的方式触发脉冲阴极弧放电,在Si(100)衬底上制备出较为光滑、均匀、致密的碳氮薄膜. 研究发现在不同的放电电压与距离对薄膜的沉积起到了很重要的作用. 扫描电镜及电子能谱分析表明,薄膜为非晶碳氮薄膜,并且随沉积能量的增大,氮的含量有所增大. 放电溅射过程分析与实验结果相吻合.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	施芸城	东华大学理学院	21	92	6.0	9.0
2	刘娜	东华大学理学院	22	174	7.0	12.0