基于FFT的薄膜厚度干涉测量新方法

• 作者: 帅高龙 徐均琪 杨利红 苏俊宏
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 干涉图 薄膜厚度 二维FFT 滤波窗
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 55-57
• 页数: 3页
• 分类号: TN247
• 字数: 1511字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2009.01.014

摘要

在研究二维FFT法进行干涉测试基本原理的基础上,提出一种基于二维FFT的薄膜厚度测量新方法.利用搭建的泰曼格林型干涉系统,用CCD接收、采集卡采集,可获得被测膜层的干涉条纹图像.编制算法处理软件,可实现对干涉条纹图中薄膜边缘识别、区域延拓、滤波、波面统一等的处理,从而获得带有薄膜信息的面形分布,实现对薄膜样片厚度的自动化测量.研究结果表明:所测薄膜厚度的峰谷值为0.256λ,均方根值为0.068λ,说明采用基于FFT的薄膜厚度干涉测量新方法测量薄膜厚度具有较高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐均琪	西安工业大学光电工程学院	87	611	13.0	20.0
2	苏俊宏	西安工业大学光电工程学院	111	496	12.0	16.0
3	杨利红	西安工业大学光电工程学院	33	173	7.0	12.0
4	帅高龙	西安工业大学光电工程学院	1	3	1.0	1.0