含钪钡钨阴极龟裂原因分析

• 作者: 包生祥 张德政 杜支波
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 钡钨阴极 微观结构 失效分析 龟裂
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 56-59
• 页数: 4页
• 分类号: TN105
• 字数: 2411字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2009.03.013

摘要

针对钪酸盐阴极在装管测试过程中发生发射电流下降,阴极表面出现龟裂等问题,利用扫描电镜和能谱作为研究手段,分析对比了失效阴极与正常阴极的微观结构差异,结果表明,阴极表面龟裂的原因是阴极发射物质成分和工作温度共同作用的结果.根据分析结果,调整工艺参数,解决了龟裂失效问题.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	包生祥	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	52	181	7.0	10.0
2	张德政	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	7	21	2.0	4.0
3	杜支波	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	9	2.0	3.0