石英玻璃管外表面抗腐蚀纳米金刚石薄膜的制备

• 作者: 吴利峰 张磊 马志斌
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 石英玻璃管 微波等离子体CVD 金刚石膜 抗腐蚀
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 页码范围: 23-26
• 页数: 4页
• 分类号: TG74|TQL64
• 字数: 2740字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2009.01.005

摘要

在具有新型谐振腔的微波等离子体CVD装置上,利用乙醇和氢气为工作气体在石英玻璃管外表面沉积了均匀、致密的纳米金刚石薄膜.采用扫描电子显微镜、Raman光谱及X射线衍射表征了金刚石薄膜的质量;设计腐蚀实验检验了金刚石薄膜的抗腐蚀效果.结果表明:在反应气压为5.5 kPa、碳源浓度为8vol%、石英玻璃管温度为500℃的条件下,得到的纳米金刚石薄膜能有效增强石英玻璃管的抗腐蚀性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张磊		7	23	3.0	4.0
2	马志斌		58	189	7.0	10.0
3	吴利峰		5	13	2.0	3.0