谐振式微加速度计差频检测电路研究

• 作者: 刘俊 王玲 石云波
• 来源期刊: 压电与声光
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振式加速度计 差频 微弱信号检测
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 所属期刊栏目: 惯性器件技术
• 页码范围: 186-188
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 1949字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-2474.2009.02.013

摘要

微机械谐振式加速度计的输出频率信号不易受到环境噪声的干扰,在传输和处理过程中也不易出现误差.针对实验室加工的谐振式微机械加速度传感器,采用静电激励和电容拾振的检测方式,设计了电容拾振检测电路和差频输出电路,实现了谐振式加速度计的微弱差频信号检测.利用精密分度盘对该加速度传感器进行了性能测试,实验室测试灵敏度为25.7 Hz/g,达到了设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘俊	中北大学电子测试技术国家重点实验室	181	1162	17.0	24.0
2	石云波	中北大学电子测试技术国家重点实验室	108	610	14.0	20.0
3	王玲	河南农业大学机电工程学院	80	262	7.0	13.0