真空室内表面镀TiZrV抽气层的性能研究

• 作者: 何源 侯生军 张军辉 杨伟顺 杨晓天 胡振军 蒙峻 赵玉刚 郭迪周 马向利
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 直流磁控溅射 TiZrV抽气层 低温激活 压力分布
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 678-681
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2492字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.06.17

摘要

采用直流磁控反溅射法在不锈钢真空管道内表面均匀镀上一层TiZrV薄膜.该薄膜经过激活后具有抽气效应,能够使真空管道由原来的系统气载转变成为管道泵.该薄膜激活温度很低,最低激活温度为180℃.在经过激活后,实验装置远端的真空度与泵口真空度相同,因此压力分布呈直线型.