电容薄膜规热流逸效应修正方法研究

• 作者: 孙海 张涤新 李得天 李正海
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容薄膜规 热流逸效应 校准因子 温度
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 16-20
• 页数: 5页
• 分类号: TB77
• 字数: 3115字
• 语种: 中文

摘要

利用N2、He、Ar三种气体对三只电容薄膜规(CDG)在10-2Pa～102Pa的热流逸效应进行了研究,对实验数据进行拟合,得到每种气体在热流逸效应产生区间CDG示值压强的拟合公式,并用实验验证了公式的准确性.对实验数据和拟合公式的分析表明,CDG的校准因子在较高压强(＞102Pa)下,趋近于一个与气体种类和校准室温度无关的极限值;在较低压强(＜10-2Pa)下,趋近于一个与气体种类无关,与校准室温度有关的极限值;在这两者之间的压强范围,校准因子与气体的种类和校准室温度呈复杂的函数关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天	兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室	63	622	15.0	20.0
2	张涤新	兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室	62	468	12.0	17.0
3	孙海	兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室	2	8	2.0	2.0
4	李正海	兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室	10	110	5.0	10.0