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摘要:
利用N2、He、Ar三种气体对三只电容薄膜规(CDG)在10-2Pa~102Pa的热流逸效应进行了研究,对实验数据进行拟合,得到每种气体在热流逸效应产生区间CDG示值压强的拟合公式,并用实验验证了公式的准确性.对实验数据和拟合公式的分析表明,CDG的校准因子在较高压强(>102Pa)下,趋近于一个与气体种类和校准室温度无关的极限值;在较低压强(<10-2Pa)下,趋近于一个与气体种类无关,与校准室温度有关的极限值;在这两者之间的压强范围,校准因子与气体的种类和校准室温度呈复杂的函数关系.
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 电容薄膜规热流逸效应修正方法研究
来源期刊 真空科学与技术学报 学科 工学
关键词 电容薄膜规 热流逸效应 校准因子 温度
年,卷(期) 2009,(1) 所属期刊栏目 学术论文
研究方向 页码范围 16-20
页数 5页 分类号 TB77
字数 3115字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 李得天 兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室 63 622 15.0 20.0
2 张涤新 兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室 62 468 12.0 17.0
3 孙海 兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室 2 8 2.0 2.0
4 李正海 兰州物理研究所真空低温与物理国家级重点实验室 10 110 5.0 10.0
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研究主题发展历程
节点文献
电容薄膜规
热流逸效应
校准因子
温度
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
真空科学与技术学报
月刊
1672-7126
11-5177/TB
大16开
北京市朝阳区建国路93号万达广场9号楼614室
1981
chi
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