微驱动进给结构设计与模态分析

• 作者: 张明 蔡英 陈爱民
• 来源期刊: 中国制造业信息化
• 学科: 工学
• 关键词: 微驱动 模态分析 驱动 有限元
• 年，卷（期）: 2009,（13）
• 所属期刊栏目: 现代设计与先进制造技术
• 页码范围: 23-25,29
• 页数: 4页
• 分类号: TG580.64
• 字数: 2155字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-1616.2009.13.007

摘要

介绍了用于半导体晶圆加工的超精密磨床微驱动进给结构的设计目标及设计原理,提出了微驱动进给结构模态分析的评价指标,对微驱动进给结构进行了模态分析,通过模态分析确认了微驱动进给结构的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蔡英		17	263	9.0	16.0
2	张明		3	11	3.0	3.0
3	陈爱民	上海交通大学机械与动力工程学院	1	3	1.0	1.0