面向动态压力测量的微型压力传感器敏感结构

• 作者: 任卫 吕海峰 马炳和
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 动态压力测量 有限元 微型压力传感器 动态性能 瞬态响应时间
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 362-365,370
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2230字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2009.06.008

摘要

围绕微型压力传感器的动态性能对压力敏感结构设计进行了研究.结合有限元分析,掌握了压阻式微型压力传感器的膜片形状、膜厚、膜片平面尺寸对于固有频率、灵敏度的影响规律,明确了固有频率、灵敏度与敏感结构形状尺寸间的关系.结合研发实例,利用时域暂态有限元分析,研究了不同厚度的正方形敏感膜片对于正弦、阶跃压力载荷的动态响应情况.研究表明,较小的敏感膜片平面尺寸、较大的膜片厚度有利于获得高的固有频率,从而得到较宽的工作频带、较快的响应速度.