MEMS微结构旋转角度的快速测量方法

• 作者: 孙彬 李晓俊 胡小唐 胡晓东 陈治
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS微结构 旋转角度 释放孔 质心
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 精密测量
• 页码范围: 328-332
• 页数: 5页
• 分类号: TH741.4
• 字数: 3180字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2009.04.010

摘要

可运动的微结构是MEMS器件的重要单元,其运动特性与器件的性能和可靠性是密切相关的.针时频闪成像技术获得的微结构运动图像序列,提出一种微结构旋转角度的快速测量方法.该方法利用运动微结构上普遍存在的释放工艺孔结构作为目标特征,对其中两个释放工艺孔的图像特征分别求取质心和两质心连线的斜率,最后比较运动图像序列中质心斜率的变化,得到各运动状态下的旋转角度.实验结果表明,该测量方法的运算时间小于0.5 s,角度测量分辨率可达到0.01°.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	陈治	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	19	81	6.0	8.0
3	胡晓东	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	86	712	15.0	23.0
4	孙彬	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	9	2.0	3.0
5	李晓俊	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	6	1.0	1.0