硅微加速度计系统设计技术

• 作者: 徐宇新 王巍 赵采凡 邢朝洋
• 来源期刊: 导航与控制
• 学科: 交通运输
• 关键词: 硅微加速度计 系统级 仿真
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 页码范围: 66-70
• 分类号: U666.12+2
• 字数: 2985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-5558.2009.04.014

摘要

本文探讨了硅微加速度计的系统设计方法,采用专用MEMS设计软件建立了"三明治"式硅微加速度计自顶向下的系统模型,该模型对于硅微加速度计的系统设计和优化具有指导意义.通过优化改进设计,目前硅微加速度计零位重复性已达到2×10-4g(3个月,1σ),正在开展探月二期工程的应用研究.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王巍		39	283	9.0	15.0
2	徐宇新		12	15	2.0	3.0
3	邢朝洋		19	43	3.0	5.0
4	赵采凡		1	0	0.0	0.0