超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究

• 作者: 李玉和 林浩山 祁鑫 童晓蕾
• 来源期刊: 电子测量与仪器学报
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉 粗糙度 三维形貌 超精表面
• 年，卷（期）: 2009,（12）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 65-69
• 页数: 5页
• 分类号: TH742.9
• 字数: 2661字
• 语种: 中文

摘要

超精表面检测技术已成为超精密测量技术重要组成部分.本文提出了一种超精表面三维形貌的相移干涉显微检测方法.检测系统引入偏振分光棱镜,建立相移检偏干涉与三维形貌重构模型,采用四帧相移与轮廓中线法进行相位与粗糙度参数计算.编制图像处理与系统测试软件,并对标准样品进行实验,结果表明:样品粗糙度重复测量精度达2.8 nm,测试系统具有抗干扰能力强、稳定性好等特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李玉和	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	59	1638	16.0	40.0
2	祁鑫	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	4	24	2.0	4.0
3	童晓蕾	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	1	20	1.0	1.0
4	林浩山	清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室	3	22	1.0	3.0