定向凝固制备多晶硅柱状晶的研究

• 作者: 戴永年 杨斌 梅向阳 马文会 魏奎先
• 来源期刊: 中山大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅 定向凝固 柱状晶体
• 年，卷（期）: 2009,（z2）
• 页码范围: 89-91
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 387字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0529-6579.2009.z2.029

摘要

为了控制定向凝固过程中柱状晶的稳定生长,结合真空定向凝固技术,在一定的工艺参数下,利用真空定向凝固设备成功制备出具有单向凝固组织的多晶硅材料,通过对制备的多晶硅锭从纵截面和不同位置横截面的微观组织进行研究,分析得出了定向凝固过程中多晶硅垂直于底部的柱状晶和大晶粒形成的最佳工艺参数,通过X射线衍射检测,显示晶体择优取向为<111>面,文章还利用晶粒淘汰机制和柱状晶合并机制合理解释柱状晶体长大过程.