基于微分先行PID算法的铸锭炉温控系统

• 作者: 彭志坚 杨晓生 肖益波 谭晓松
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多晶硅铸锭炉 PID 温度控制
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: IC制造设备
• 页码范围: 42-45
• 页数: 4页
• 分类号: TP273
• 字数: 1987字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2009.07.010

摘要

针对多晶硅铸锭炉的温度控制,提出了一种基于微分先行算法的PID控制方法.应用结果说明,该PID控制方法能对多晶铸锭炉的温度进行有效控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖益波		4	36	3.0	4.0
2	彭志坚		5	31	2.0	5.0
3	谭晓松		2	23	1.0	2.0
4	杨晓生		5	27	2.0	5.0