衬底对单脉冲激光烧蚀下环境密度恢复时问的影响

• 作者: 丁学成 傅广生 李艳丽 梁伟华 王英龙 褚立志 邓泽超
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 密度恢复时间 脉冲激光烧蚀 蒙特卡罗模拟
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 3045-3049
• 分类号: O484
• 字数: 3287字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL20093611.3045

摘要

假定烧蚀粒子与环境气体原子均为刚性硬球,采用蒙特卡罗(Monte Carlo)方法,对单脉冲激光烧蚀产生的硅(Si)粒子在1000 Pa环境氦(He)气中的传输过程进行了数值模拟,研究了衬底对环境密度恢复时间的影响.结果发现,衬底对粒子完全反弹和完全吸附的情况下对应的环境密度恢复时间分别为1713.2μs和1663.2μs,并且随着衬底对粒子临界吸附速度的增大,环境密度恢复时间先增大后减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	傅广生	河北大学物理科学与技术学院	184	817	13.0	17.0
2	邓泽超	河北大学物理科学与技术学院	48	123	6.0	8.0
3	褚立志	河北大学物理科学与技术学院	47	155	7.0	10.0
4	丁学成	河北大学物理科学与技术学院	44	89	5.0	7.0
5	梁伟华	河北大学物理科学与技术学院	36	92	6.0	8.0
6	王英龙	河北大学物理科学与技术学院	96	301	9.0	12.0
7	李艳丽	河北大学物理科学与技术学院	7	10	2.0	3.0