Ar环境下脉冲激光烧蚀粒子阻尼系数的空间分布

• 作者: 丁学成 傅广生 王英龙 翟小林 胡自强 褚立志 邓泽超
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 脉冲激光烧蚀 平均尺寸 烧蚀粒子 阻尼系数 空间分布
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 粒子束技术
• 页码范围: 1965-1969
• 分类号: O484.1
• 字数: 2296字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20122408.1965

摘要

在10 Pa的Ar环境气体中,采用脉冲激光烧蚀技术,分别在半径为2.0,2.5,3.0,3.5和4.0 cm的半圆环不同角度处的衬底上制备了一系列含有纳米晶粒的Si晶薄膜.使用扫描电子显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪对其表面形貌和微观结构进行分析表征.结果表明,纳米Si晶粒的平均尺寸和烧蚀粒子的阻尼系散均相对于羽辉轴向呈对称分布,并随着与羽辉轴向夹角的增大而减小;同时,随着衬底半径的增加,晶粒平均尺寸和阻尼系数均逐渐减小.