微波ECR氧等离子体参数测量

• 作者: 吴振辉 谭必松 马志斌
• 来源期刊: 武汉工程大学学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ECR等离子体 朗谬尔双探针 电子温度 等离子体密度
• 年，卷（期）: 2009,（5）
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: O539
• 字数: 2403字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-2869.2009.05.015

摘要

利用双探针对微波ECR氧离子体参数进行了诊断研究,测量了等离子体的双探针伏安曲线并计算出电子温度和离子密度,分析了气压、微波功率、氧气流量等参数对等离子体参数的影响.结果表明:a.随着气压的升高,等离子体密度先增大后减小,电子温度逐渐减小.b.等离子密度随微波功率的增加先增加后达到饱和,电子温度受微波功率影响很小.c.随着氧气流量的增加,等离子体密度和电子温度都减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马志斌	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	58	189	7.0	10.0
2	谭必松	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	6	29	3.0	5.0
3	吴振辉	武汉工程大学湖北省等离子体化学与新材料重点实验室	6	23	3.0	4.0