真空气氛下非晶硅碳氮(SiCN)陶瓷的高温晶化行为

• 作者: 乔生儒 夏熠 张程煜 李玫 王强强 韩栋
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非晶SiCN陶瓷 晶化行为 相变 显微结构
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 827-830
• 页数: 4页
• 分类号: TB332
• 字数: 3202字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3724/SP.J.1077.2009.00827

摘要

以六甲基二硅氮烷为单一前驱体,采用电热裂解化学气相沉积技术制备了SiCN陶瓷.借助X射线衍射仪、透射电子显微镜研究了真空环境中非晶SiCN陶瓷在1300～1900℃范围内的晶化行为,并根据研究结果,运用分解-结晶机理解释了其晶化过程.非晶SiCN陶瓷在低于1300℃开始发生分解,形成富Si-C区域,并最终发生β-SiC结晶.其结晶度随热处理温度的升高而愈加明显.在1700℃处理时发生β-SiC→α-SiC相变.分解形成的N-难以与Si-结合形成富Si-N区域,最终以N2形式溢出,在整个热处理温度范围没有出现氮气下热处理时存在的Si3N4结晶.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	乔生儒	西北工业大学超高温结构复合材料实验室	107	852	15.0	21.0
2	韩栋	西北工业大学超高温结构复合材料实验室	40	334	12.0	16.0
3	李玫	西北工业大学超高温结构复合材料实验室	26	174	7.0	12.0
4	张程煜	西北工业大学超高温结构复合材料实验室	38	230	9.0	13.0
5	夏熠	西北工业大学超高温结构复合材料实验室	4	11	2.0	3.0
6	王强强	西北工业大学超高温结构复合材料实验室	4	11	2.0	3.0