蚀刻过程的流体力学分析

• 作者: 李志东 田玲
• 来源期刊: 印制电路信息
• 学科: 工学
• 关键词: 蚀刻 纵横比 精细线路 流体力学
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 图形转移
• 页码范围: 32-33,37
• 页数: 3页
• 分类号: TN41
• 字数: 2509字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-0096.2009.04.007

摘要

文章在PCB蚀刻理论的基础上,对蚀刻过程进行了流体力学分析,分析了不同纵横比线间药水流动情况,以及纵横比与药水流动、扩散层厚度变化的关系等,并通过试验进行了验证,可为业界精细线路蚀刻制作提供一定价值的参考和借鉴.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田玲		3	25	2.0	3.0
2	李志东		6	46	4.0	6.0