溶胶凝胶法制备氧化硅薄膜裂纹形貌研究

• 作者: 余海湖 孙志刚 陈炎兵 顾尔丹 魏琳琳
• 来源期刊: 武汉理工大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米裂纹 裂纹形貌 波浪形 薄膜 二氧化硅 Sol-gel
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 13-15
• 页数: 3页
• 分类号: TB33
• 语种: 中文
• DOI: 10.3963/j.issn.1671-4431.2009.11.004

摘要

用溶胶凝胶法在玻璃基底上制备了波浪形纳米裂纹,并研究了氧化硅薄膜内波浪形纳米裂纹的形貌和生长过程.波浪形裂纹宽度在50-500 nm之间,振幅和波长在5-10/μm内.波浪形裂纹总是在缺陷处优先生长.波浪形裂纹的生长过程中要经历3个阶段:波浪形裂纹尖端孕育形成、裂纹加速生长、快速生长直到生长结束.波浪形裂纹扩展长度随着热处理时间增加而增加,其扩张长度可以达到100/μm以上.这些波浪形裂纹可以用作制备纳米线的模板.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余海湖		56	679	15.0	23.0
2	孙志刚		18	87	4.0	9.0
3	陈炎兵		4	5	1.0	2.0
4	顾尔丹		2	0	0.0	0.0
5	魏琳琳		1	0	0.0	0.0