多体系统理论的四轴运动平台综合空间误差建模

• 作者: 徐洲龙 杨程旭 郑煜
• 来源期刊: 现代制造工程
• 学科: 工学
• 关键词: 光波导器件封装 多体系统 空间误差 误差建模
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 试验研究
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TF202
• 字数: 3117字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-3133.2009.04.001

摘要

平面波导芯片与阵列光纤之间的对准,主要依靠器件封装设备运动平台的六维全空间亚微米精度运动控制,来实现其精确定位对准,基于多体系统理论,阐述四轴运动平台综合空间误差的建模过程,为阵列光波导器件封装设备运动平台的精度分析和误差补偿,提供一种理想的建模技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郑煜	中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室	25	114	6.0	9.0
2	徐洲龙	中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室	4	27	3.0	4.0
3	杨程旭	中南大学现代复杂装备设计与极端制造教育部重点实验室	1	17	1.0	1.0