基于MEMS技术的气体热导传感器的应用研究

• 作者: 安晨光 曹建 王浩宇
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS TCD TCS208F 滤波 噪声
• 年，卷（期）: 2009,（7）
• 所属期刊栏目: 传感器应用
• 页码范围: 1050-1054
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 3302字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2009.07.027

摘要

针对传统的气体热导检测器在气体检测应用中存在检测精度差、灵敏度低、温度漂移大的缺点,本设计采用新型的MEMS气体热导传感器,设计了一种高性能的气体浓度检测系统.设计了一种高精度的双恒流源电路对电桥供电,运用微信号检测技术和温度补偿手段,采取模拟滤波和数字滤波相结合的方法,有效的抑制了各种类型的噪声干扰,提高了系统测量的精度与灵敏度,实现了微量气体浓度的准确测量,克服了传统气体热导检测的缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	曹建	中南大学物理科学与技术学院	66	611	15.0	21.0
2	安晨光		4	79	4.0	4.0
3	王浩宇	中南大学物理科学与技术学院	5	40	3.0	5.0