悬臂梁接触式RF MEMS开关的关键工艺研究

• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 射频MEMS开关 剥离 悬臂梁 制作工艺
• 年，卷（期）: 2009,（9）
• 所属期刊栏目: 前沿技术
• 页码范围: 118-120
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 1872字
• 语种: 中文

摘要

采用厚度为2μm的Au制作成共平面波导(CPW)、聚酰亚胺作为牺牲层、PECVD法淀积Si3N4薄膜作为悬臂梁,制作成悬臂梁接触式RF MEMS开关.着重对开关的关键工艺--CPW的Au剥离工艺和悬臂梁制作工艺进行研究,讨论了工艺中存在的问题及其解决方法.通过实验获得较佳的工艺参数,并制作出驱动电压为12～20 V的悬臂梁接触式RF MEMS开关.