MEMS光栅光调制器与CMOS驱动单片集成的研究

• 作者: 张智海 温志渝 金珠 黄尚廉
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 光栅光调制器 CMOS驱动电路 单片集成
• 年，卷（期）: 2009,（11）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 2515-2519
• 页数: 5页
• 分类号: TN29|TN402
• 字数: 4024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2009.11.028

摘要

为了消除光栅光调制器阵列的交叉效应,提出利用post-CMOS工艺将光栅光调制器与CMOS驱动单片集成.介绍了单片集成器件的工作原理,详细分析了单片集成器件的关键参数.通过分析表明,在满足调制器响应频率条件下,通过改变悬臂梁的各个参数可以减小调制器的弹性系数,从而降低光栅光调制器的工作电压;在满足开关速度的条件下,较大存储电容具有更好的电压保持特性.利用中芯国际提供的0.18μm工艺设计包完成该单片集成器件的物理版图设计和仿真.最后,通过实验测得该器件的上升沿和下降沿时间分别为:36.8ns和36.4ns,且经过16.73ms的保持时间后压降为2.1v.实验结果与仿真结果具有较好的一致性,结果表明:加工的单片集成器件具有较快的开关速度和较好的电压保持特性,能够满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	143	1259	18.0	26.0
5	张智海	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	38	198	9.0	12.0
9	金珠	重庆大学新型纳米器件与系统技术国家重点学科实验室	13	19	3.0	3.0