离子注入Zn的Si(001)基片热氧化制备纳米ZnO团簇及其生长行为研究

• 作者: 付伟佳 关庆丰 刘志文 刘明 张庆瑜 牟宗信 陈康敏
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO纳米团簇 离子注入 微观结构 形貌分析
• 年，卷（期）: 2009,（8）
• 所属期刊栏目: 凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质
• 页码范围: 5693-5699
• 页数: 7页
• 分类号: O4
• 字数: 4314字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2009.08.086

摘要

采用离子注入技术将Zn离子注入Si(001)基片,并在大气环境下加热氧化制备了ZnO纳米团簇.利用电子探针、薄膜X射线衍射仪、原子力显微镜和透射电子显微镜,对注入和热氧化后的薄膜成分、表面形貌和微观结构进行表征,探讨了热氧化温度以及注入剂量对纳米ZnO团簇的成核过程及生长行为的影响.结果表明,Zn离子注入到Si基片表面后形成了Zn纳米团簇,热氧化过程中Zn离子向表面扩散,在表面SiO2非晶层和Si基片多晶区的界面处形成纳米团簇.热氧化温度是影响ZnO纳米团簇结晶质量的一个重要参数.随着热氧化温度的升高,金属Zn的衍射峰强度逐渐变弱并消失,而ZnO的(101)衍射峰强度逐渐增强.当热氧化温度高于800℃以后,ZnO与SiO2之间开始发生化学反应形成Zn2SiO4.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	45	494	12.0	20.0
2	陈康敏	江苏大学材料科学与工程学院	136	1294	19.0	28.0
3	张庆瑜	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	92	897	16.0	25.0
4	牟宗信	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	38	217	10.0	12.0
5	关庆丰	江苏大学材料科学与工程学院	60	362	11.0	15.0
6	付伟佳	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	6	75	4.0	6.0
7	刘志文	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室	12	264	8.0	12.0